廣州潽拓光電科技有限公司——安捷倫真空分子泵
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分子泵不能用于抽除液體或者帶有粉塵、固體顆粒的氣體;除了耐腐蝕型泵以外,其他任何分子泵不能用于抽除腐蝕性氣體,耐腐蝕型泵在抽除腐蝕性氣體時(shí),必須給分子泵的保護(hù)氣體入口連續(xù)通惰性保護(hù)氣體如氮?dú)獾龋冶糜褪褂梦夜咎峁┑?用耐腐蝕分子泵油。
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安捷倫渦旋式干泵采用兩個(gè)渦旋盤復(fù)合成的機(jī)械結(jié)構(gòu),由一個(gè)渦旋嵌入另一個(gè)渦旋并轉(zhuǎn)動(dòng)來捕集氣體。進(jìn)入渦旋槽內(nèi)的氣體被移動(dòng)壓縮到渦旋的中信并被排出。渦旋式干泵具有噪音低,震動(dòng)小,結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,運(yùn)行穩(wěn)定,維護(hù)間隔周期長(zhǎng)等優(yōu)點(diǎn),而且不易發(fā)生可能引起災(zāi)難性后果的突發(fā)的故障。